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品名

铝靶材

因素

Al

外观

银白色,平板或者圆筒状

纯度(%)

99.999%

规格(mm)

Φ125×Φ171×L2342、W1130×L1200×T10、W200×L2650×T12

杂质≤ (ppm)

Fe

Ti

Si

Ni

Na

Cu

Mg

K

Mo

Cr

Sum

2

1

2

1

1

2

2

2

1

1

10